日本ULVAC愛發(fā)科兩級型低溫泵

日本ULVAC愛發(fā)科兩級型低溫泵

特征

適用于 4 英寸低溫泵的出色泵送性能

高抽速提高了抽速和生產(chǎn)率。

zui 適于半導(dǎo)體制造的濺射工藝或其他小型設(shè)備

一臺壓縮機(jī)最多可運(yùn)行 4 臺機(jī)組。

定制設(shè)計(jì)可滿足您的需求。

規(guī)范

抽速20°C）	氮	L/s	450
	氫		500
	氬		370
	水		1,100
極限壓力	帕		10-7
最大流量	氬	帕?L/秒	1.3×103
泵送能力	氬	帕?L	1.0×107
	氫		1,5×10%5
冷卻時(shí)間	最小（50/60Hz）		45/50
重量		公斤	14.5

尺寸 （單位：mm）

         中崎目前已獲得CCS晰寫速、SEN日森、EYE巖崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齒輪、KAKUHUNTER寫真化學(xué)、FUNATECH船越龍、HIKARIYA光屋、SERIC索萊克斯、REVOX萊寶克斯、NITTO KOHKI日東工器、ATAGO愛拓、SONIC索尼克、SIGMA西格瑪、SUGIYAMA杉山電機(jī)、HAYASHI林時(shí)計(jì)、ORIHARA折原、YUASA尤安薩、EYELA東京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新東科學(xué)、SIBATA柴田科學(xué)、HORIBA堀場、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三豐、JIKCO吉高、NPM脈沖、AND愛安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK電波工業(yè)、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世達(dá)、HAKKO白光、TOHNICHI東日等多家品牌授權(quán)認(rèn)證。