更新時(shí)間：2025-06-23
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廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
型號(hào)：UTM300A-MS
| 品牌 | ULVAC/日本愛發(fā)科 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
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日本ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵
日本ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵
特征
泵體與控制器分離 控制器可監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)，支持各種通訊標(biāo)準(zhǔn)。
自由安裝方向
自由安裝方向使系統(tǒng)設(shè)計(jì)靈活。
抽速 300L/s 至 4000L/s 級(jí)產(chǎn)品陣容
泵旋轉(zhuǎn)范圍為 25% 至 100％
通過(guò)改變轉(zhuǎn)速來(lái)調(diào)節(jié)腔室中的壓力。
高耐久性和安全性
通過(guò)了空氣沖入測(cè)試和著陸測(cè)試等安全確認(rèn)測(cè)試。
設(shè)備主要真空抽氣系統(tǒng)
- 半導(dǎo)體設(shè)備
- 蒸發(fā)器，濺射系統(tǒng)
- 分析設(shè)備，實(shí)驗(yàn)裝置等
主真空抽氣系統(tǒng)，用于不產(chǎn)生副反應(yīng)產(chǎn)物的輕工藝。
一般用于高真空抽真空系統(tǒng)。
| 型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A 質(zhì)譜儀 | ||||||
| 入口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
| 出口 | KF25 系列 | 肯氟烴40 | ||||||||
| 冷卻方式 | 水 冷 | 風(fēng) 冷 | 水 冷 | 風(fēng) 冷 | 水 冷 | 風(fēng) 冷 | 水 冷 | 風(fēng) 冷 | ||
| 極限壓力 *1 | 帕 | 10-7 | 10-8 | |||||||
| 抽速 *2 | 注 2 | L/s | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| 氦氣 | L/s | ー | ||||||||
| 他 | L/s | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| H2 系列 | L/s | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 按壓率 | 注 2 | 1×109 | ||||||||
| 他 | 8×104 | |||||||||
| H2 系列 | 1×104 | 4×103 | ||||||||
| 最大入口壓力 *3 | 帕 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 最大出口壓力 *3 | 帕 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 轉(zhuǎn)速 | 轉(zhuǎn)速 | 45000 | 35000 | |||||||
| 啟動(dòng)時(shí)間 | 5 分鐘或更短 | |||||||||
| 安裝位置 | 在任何想要的方向 | |||||||||
| 表面處理 | 鍍鎳 | |||||||||
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 1~3 | ー | 1~3 | ー | 1~3 | ー | 1~3 | ー |
| 壓力 | MPaG | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | |
| 噪聲 | 分貝（A） | 60 | ||||||||
| 重量 | 公斤 | 14 | 33 | 32 | ||||||
| 推薦的前級(jí)泵 | 200L/小 更多 | 500L/小 更多 | ||||||||
| 控制器 | 組成 | 分離型 | ||||||||
| 輸入電力 | 單相 AC200 ?240V ±10%（ 50/60Hz ±2Hz） | |||||||||
| 最大功率 | 0.55 | 1.0 | ||||||||
| 速度變化 | 速度在額定速度的 25% 到 100% 之間變化（設(shè)置為 0.1%） | |||||||||
| 通信 | 聯(lián)系 | |||||||||
| 型號(hào)：RS-232C / RS-485 | ||||||||||
| 重量 | 公斤 | 8 | ||||||||
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